远红外(FIR)激光干涉仪是核聚变装置上等离子体电子密度测量的关键设备。为了实现远红外激光干涉仪上电子密度信号的精确测量，设计了应用于远红外激光干涉仪上数字相位差测量算法的硬件层实时处理框架，并基于采样率为20MSPS的AD9269信号采集模块和时钟频率为125MHz下的Xilinx K7系列可编程逻辑阵列器件进行了验证。现场试验结果表明，该数字相位差算法的测量延迟为64μs，最终相位差测量精度可控制在0.1°以内，测量结果的时间分辨率为50ns。